
一款三軸精密大理石運(yùn)動(dòng)平臺(tái),XY軸采用十字疊層結(jié)構(gòu),可選配R軸用于角度調(diào)整,配備高性能直線(xiàn)電機(jī),滿(mǎn)足高精密定位需求;Z軸配備精密滾柱導(dǎo)軌,承重大、精度高、剛性好;底座選用高品質(zhì)大理石,保證運(yùn)行平面度達(dá)到000級(jí),另可選配光柵尺編碼反饋,精度更加有保障。用于半導(dǎo)體檢測(cè)晶圓的調(diào)整,光學(xué)檢測(cè),視覺(jué)定位等應(yīng)用場(chǎng)景
XY軸重復(fù)定位精度:±2μm
XY軸定位精度:5μm
有效行程:300mm
最高速度:500mm/s
直線(xiàn)度:6μm/500mm
最大負(fù)載:5kg
Tips:絲桿直線(xiàn)模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員。
微米級(jí)重復(fù)定位精度;
XY軸采用高性能直線(xiàn)電機(jī)平臺(tái)組成;
Z軸標(biāo)配高精度研磨絲杠,可選配直線(xiàn)電機(jī);
密封防護(hù)效果好,無(wú)易損件,可有效阻隔粉塵;
底座選用濟(jì)南青等高品質(zhì)石材,平面度有保障;
直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),光柵尺編碼反饋,應(yīng)用范圍廣。
| 規(guī)格 軸向 | X軸 | Y軸 | Z軸 |
| 重復(fù)定位精度 | ±2μm | ±2μm | ±3μm |
| 定位精度 | 5μm | 5μm | 8μm |
| 有效行程 | 300mm | 300mm | 100mm |
| 最高速度 | 500mm/s | 500mm/s | 200mm/s |
| 直線(xiàn)度 | 6μm / 500mm | ||
| 平面度 | 000級(jí) | 000級(jí) | - |
| 最大加速度 | 0.5G | ||
| 最大負(fù)載 | 5kg | ||
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm | ||
注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。

本文關(guān)鍵詞: 直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 大理石平臺(tái) 直線(xiàn)模組
公眾平臺(tái)
電話(huà)咨詢(xún)