高精密直線運動平臺

• 一般環(huán)境使用,無塵環(huán)境使用

• 一款高精密直驅(qū)三軸精密運動臺，采用定龍門結(jié)構(gòu)，X軸安裝到大理石橫梁上，Y軸安裝到大理石基座上。配置無鐵芯直線電機，具有高動態(tài)性能、零齒槽效應(yīng)和電子噪聲小等特點。配置自潤滑的精密滾柱導(dǎo)軌，承重大、速度快、加速度高、剛性好等特點。用于激光加工、晶圓切割、測試測量、電子元件組裝和檢測、掃描及自動化裝配等領(lǐng)域。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復(fù)定位精度：±2μm
  定位精度：5μm
  有效行程：100 - 1000mm
  最高速度：2000mm/s
  直線度：±1.5μm
  行走平面度：±1.5μm
  最大負(fù)載：15kg - 100kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。