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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
一款閉式氣浮導軌雙軸氣浮運動臺，采用氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，十字疊層結構。閉式氣浮結構，氣浮導軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結構，側向氣浮剛度更大，承載能力強，模態高，具有超高重復定位精度和定位精度的平臺。用于晶圓加工及檢測、大尺寸飛秒激光加工、測試測量等行業。
有效行程：300mm x 300mm
定位精度：0.05μm
雙向重復定位精度：±0.1μm
最高速度：200mm/s
直線度：1μm / 300mm
平面度：000級
最大水平負載：10kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。
非接觸閉式氣浮結構；
光柵尺閉環反饋；
亞微米級重復定位精度；
直線度平面度優于1μm；
優化線纜管理，可定制化設計。
| 規格 型號 | LEIZ-QFH-XY-300 |
| 有效行程 | 300mm x 300mm |
| 定位精度 | 0.05μm |
| 雙向重復定位精度 | ±0.1μm |
| 最高速度 | 200mm/s |
| 直線度 | 1μm / 300mm |
| 平面度 | 000級 |
| 電子分辨率 | 1nm |
| 最大加速度 | 5m/s2 |
| 最大水平負載 | 10kg |
| 俯仰/翻滾/偏擺 | 1.5 arc sec |
| 正交度 | 5 arc sec |
注意：
1. 以上測試數據在恒溫恒濕實驗室環境下，測試點位于中心點上方 25mm處，由線性放大器得出。
2. 以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。
